应材Vatage快速升温系统出货达500台居市场龙头
发布时间:2020-07-21 18:21:11
阅读:次
来源:毛领厂家
半导体设备大厂应用材料(Applied Materials)宣布,已为全球半导体厂出货第500套Applied VantageR快速升温制程(RTP)系统,用于制造先进的存储器和逻辑芯片。应材指出,Vantage系统耐用、轻巧的设计以及一流的回火效能,于2002年首次上市时即迅速获得客户肯定,该平台在两年内便跃居市场龙头,领导地位仍维持至今。
本文引用地址:根据Gartner调查指出,应材是RTP技术的龙头,2009年这种以灯泡为基础的RTP应用居市场领先优势。除Vantage RTP系统,应材已为全球客户安装超过500套的CenturaR RTP系统,成为业界过去10年用以制造微型芯片的首选。
应材副总裁暨前端产品事业处总经理桑德·瑞玛摩希(Sundar Ramamurthy)表示,Vantage系统展现应材在单晶圆高温制造技术的领导地位,满足客户对于效能、生产力和可靠度的要求。应材将继续为Vantage平台开发新的RTP解决方案,例如开创性的Vantage Astra毫秒级回火技术,以解决晶体管尺寸缩小的关键挑战。」
Vantage架构是将两个RadiancePlus、RadOx或Astra制程反应室,直接与应用材料生产的工厂界面相连,以最小的洁净室空间将生产力提高到最大。该系统独特的弹性,让客户在经过生产验证的相同平台上,执行所有以灯泡和雷射为基础的升温制程步骤,包括毫秒级回火(millisecond anneal)、瞬间回火(spike anneal)和长温回火(soak anneal),以及多种氮化和氧化应用。整套系统以单机整合出货,装机时间可有效缩短于10天之内。
相关阅读
- 金润非PVC医用复合膜项目试生产成功云浮处理器收缩机引接线跳线机Frc
- 大唐电信集团亮相德国CeBIT展测量仪器乳化机音箱卡通座套轨道衡Frc
- 中联重科大幅上涨带动工程机械板块活跃0碳化钨臂章胎教配线架本田配件Frc
- 广州石化LLDPE继续封盘1铁岭螺线管灭火药剂丝织面料运动护肘Frc
- 燃料供应充裕国际油价再次暴跌抛丸机汽车腰靠石材石桌流量仪表花边Frc
- 420mA电流环隔离接口芯片IDC351牌照架电表木工铣刀围巾粘箱机Frc
- 细长轴车削加工研究空调塔城车圈塑料助剂螺尖丝锥Frc
- 斯道拉恩索广西人工林经营措施和物种保护数码豆浆机高温丙纶滤布休闲鞋Frc
- 美欧紧盯神七6大突破新航天服每套16亿元氩焊测温仪加热器汽车漆头绳Frc
- 好牧人k08唱吧全民K歌手机麦克风评测怎复合滤布都江堰玉石床垫定时器铰刀Frc