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气动风囊泵在工业清洗设备上有何妙用《资讯》

发布时间:2020-08-17 14:05:29 阅读: 来源:毛领厂家

2016-08-07 20:55:02来源: 贤集网

风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔,风囊之间用连接轴连接,每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分,压缩空气进入泵的气相工作腔后,压缩风囊变形移动,通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作,利用液相腔的交替吸液排液,实现对液体的输送。与隔膜泵最大的区别是用风囊替代了隔膜,更适用于连续不间断运行,输送的液体脉动较隔膜泵小,使用寿命长。

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气动风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用:

(1)药液恒温控制:由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器,制冷机或加热器等组成温度控制系统。通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。

(2)药液的循环过滤:由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤,均匀流场。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。

(3)废液回收和再利用:120℃以上强腐蚀性药液(如SPM)使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道,由于温度高,将导致排液管道的损坏,引起安全事故,采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长,影响生产效率。一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽,在降温槽内降温后再排入排废管道,这种方法即节省了时间,又保证了生产的安全性,被业界所广泛采用。

湿法腐蚀清洗设备中经常配置多个功能相同的工艺槽体(如有机去胶槽),工艺流程为晶圆片依次通过各工艺槽进行相同工艺处理,先处理的工艺槽药液较脏,后处理的较干净,为了节省药液,降低生产使用成本,换液时,一般将前槽较脏的药液排掉,利用风囊泵和过滤器将后槽的药液输送到前槽再利用,最后将新药液注入到后槽使用。

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